CenterLine CNR-serien består av analoga kapacitiva vakuummätare som kan mäta över fyra storleksordningar inom området 0,1 till 1000 Torr. Serien finns i både uppvärmda och ouppvärmda varianter och utökar den befintliga CenterLine-produktfamiljen med tillförlitliga mätningar även under de mest krävande förhållandena. Precis som övriga CenterLine-mätare erbjuder CNR-serien en optimal balans mellan kostnad och prestanda och kan enkelt integreras i befintliga installationer, även med mätteknik från andra tillverkare.

CNR-mätare används idealiskt i kombination med tryckregleringsventiler och kan användas för en mängd olika tillämpningar inom halvledarindustrin, såsom torretsning, CVD- och ALD-processer. De kan också användas inom analys, FoU och flera andra branscher. I denna produktutökning finns fem olika versioner tillgängliga: 36x, 37x, 38x, 39x och 30x. Alla produkter i serien är SEMI S2-kompatibla.

För processer vid alla temperaturer

CenterLine CNR-serien erbjuder flera alternativ för processer vid olika temperaturer. 36x är en ouppvärmd variant för tillförlitliga mätningar vid rumstemperatur med en noggrannhet på 0,2 %. Självuppvärmande versioner finns även vid 45, 100, 160 och 200 °C. Varianten på 45 °C har en noggrannhet på 0,15 %, vilket gör den utmärkt för kalibreringslaboratorier och kvalitetskontroll. De övriga självuppvärmda versionerna har en noggrannhet på 0,4 % och möjliggör mer exakta avläsningar i högtemperatur- eller hetgasprocesser än jämförbara mätare.

Motståndskraft mot kontaminering och korrosion

En membransensor utgör hjärtat i mätinstrumentet. Den skyddas av ett stabilt och motståndskraftigt keramiskt skydd, belagt genom atomic layer deposition (ALD). Detta skydd förhindrar att sensorn utsätts för de höga temperaturerna hos processgaserna samt skyddar mot korrosion. Det säkerställer högre tillförlitlighet och noggrannhet, samt längre livslängd för sensorn – även under tuffa plasmaförhållanden – tack vare minskad kontaminering. Eftersom sensorskift (drift) också minimeras, behövs kalibrering mer sällan, vilket i sin tur sänker den totala ägandekostnaden.

Tryckkontroll – “p-control” filterinställning

Mätarna i CenterLine CNR-serien är utrustade med en särskild filterinställning kallad “p-control”, eller tryckkontroll. Denna inställning är snabb och adaptiv, vilket gör att mätaren reagerar snabbare på tryckförändringar och ger exakt och jämn tryckreglering. Denna funktion är särskilt effektiv i kombination med en tryckregleringsventil.

Om Busch-koncernen

Busch-koncernen är en av världens största tillverkare av vakuumpumpar, vakuumsystem, blåsmaskiner, kompressorer och gasreningssystem. Under sitt paraply samlar koncernen två välkända varumärken: Busch Vacuum Solutions och Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. De gasreningssystem som tidigare erbjöds av centrotherm clean solutions – ett tidigare Busch-varumärke – ingår nu i Pfeiffer-portföljen.

Det omfattande produkt- och tjänsteutbudet inkluderar lösningar för vakuum, övertryck och rening i alla branscher, såsom livsmedel, halvledare, analys, kemikalier och plast. Det inkluderar även konstruktion av skräddarsydda vakuumsystem och ett världsomspännande servicenätverk.

Busch-koncernen är ett familjeföretag som drivs av familjen Busch. Över 8 000 anställda i 44 länder arbetar inom koncernen. Busch har sitt huvudkontor i Maulburg, Baden-Württemberg, i gränsregionen mellan Tyskland, Frankrike och Schweiz.

Koncernen tillverkar i sina 23 egna produktionsanläggningar i Kina, Tjeckien, Frankrike, Tyskland, Indien, Rumänien, Sydkorea, Schweiz, Storbritannien, USA och Vietnam.

Busch-koncernen har en årlig omsättning på nära 2 miljarder euro.